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（中央社记者刘千绫台北9日电）半导体设备大厂艾司摩尔在台砸重金投资，并针对2奈米晶圆光学量测设备研发制造，向经济部申请A+企业研发补助案。经济部表示，将以两面向审查，包括如何协助供应链技术升级以及国产自制率，最快5月拍板定案。

艾司摩尔（ASML）去年宣布在台湾扩大投资，新北市长侯友宜透露，预计落脚林口，第一期投资金额达新台币300亿元，约2000名员工进驻。

不仅在台湾扩大投资，艾司摩尔去年也向经济部递件申请，针对2奈米晶圆光学量测设备提出研发补助计画，经济部已受理审查，依规定一旦审查通过，政府补助比例会低于5成。

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经济部官员表示，审查重点为如何提升本土技术、国产自制率；目前台厂供应链已具备深紫外光（DUV）设备中的光罩传输模组制造能力，这次艾司摩尔计划案包含晶圆传输模组，期盼借此导入本土供应链。

经济部官员指出，事实上，先前艾司摩尔的光罩传输模组搬来台湾制造，让台湾成为艾司摩尔DUV光罩传输模组全球唯一制造基地，带动台厂帆宣、公准和神咏等供应链厂商成长，借由外商在台扩大投资、研发等，持续提升本土供应链技术升级。

艾司摩尔申请案将进入实质审查的第二阶段，经济部官员表示，预估5月召开决审会议拍板通过，届时经济部补助额将明朗化。

经济部「A+企业创新研发淬炼计画」补助企业投入创新研发和前瞻产业技术开发，每年预算约新台币20亿元，计画吸引国际大厂来台研发生产，同时帮助国内业者打进前段设备的供应链。（编辑：林淑媛）1120409

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